高精密气浮平台是精密机械中的关键部件之一，高精密定位运动气浮平台系统是以空气轴承支撑、直线电机直接驱动的高刚性运动系统。主要构成部分包括底座、导轨、气浮滑块等，采用直线电机驱动。它为微光刻技术、数控加工、生物技术、IC封装设备、纳米表面形貌测量等领域提供一个能够实现精密定位、检测和精确运动的载物平台，成为先进的电子制造设备，如光刻机贴片机工作的主要机构，充分解决高精度零件在加工、检测等方面的难题。

　　经过多年的技术积累与沉淀，高精密气浮运动平台在生产规模、质量控制、售后服务响应、产品同步升级等方面，形成了极强的竞争力，主要应用于IC制造、检测、封装，光学制造、检测，精密加工等领域，在半导体、面板、3C、PCB等行业能够大批量生产与应用。

　　气浮式导轨几乎可以忽略摩擦力的影响，实现近于零摩擦的润滑，故能实现高精密定位。气浮导轨相较于传统接触式导轨的优点：

　　1.在多数情况下，气浮导轨的运动副之间摩擦力可以忽略不计，在其他条件相近的情况下可以明显提高轨迹跟踪精度和定位精度；

　　2.气膜由于其存在弹性，可以在一定程度上减轻工件表面平面度和直线度误差带来的影响，进而提高运动精度；

　　3.使用气体作为润滑介质时，不同于传统接触式导轨的润滑，无需额外添加润滑剂，并且可以做到免维护，没有润滑介质的泄漏、污染等隐患，提高了系统的使用寿命，长期使用可以降低成本。

　　4.超高稳定性、高硬度及高耐磨。高精密加工要求高精度运动和定位，要求热膨胀等因素尺寸变形极小，高精密气浮平台由于其结构的优势，具有超高的稳定性、高硬度及高耐磨性，提高了运动精度，更能应用于高速轻载、定位精度超高的场合。

　　高精密气浮平台，使用精密气浮导轨作为运动导向，具备高机械精度，配合直线电机和光栅尺，实现了±50纳米的重复定位精度，运行平稳、无摩擦、运行噪音低。以精密研究，跻身国内高端半导体领域，将在大规模集成电路制造和光学检测等方面广泛应用。